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型号
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PL-DW30
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PL-DW60
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PL-DW80
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腔体材质
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316不锈钢表面处理
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腔体尺寸
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300 ×335×300mm
L×W×H
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350 ×430×400mm
L×W×H
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400 ×450×450mm
L×W×H
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腔体容量
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30L
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60L
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80L
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外形尺寸
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700×650×1200mm
L×W×H
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750×700×1250mm
L×W×H
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800 ×750×1400mm
L×W×H
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电源频率
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13.56MHz（自动匹配一体）
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电源功率
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0-500W（连续可调）
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0-600W（可调）
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0-800W（连续可调）
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流量计
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超精密2路电子流量计
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真空计
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高真空规管测量并实时显示
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控制过程
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全自动控制与手动（PLC人机界面）
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清洗时间
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0-
99999S 可调
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真空度
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1-30pa
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腔体温度
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＜30℃
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供电电压
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380V
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真空泵
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BSV30（抽速10L/S）
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BSV40（抽速13L/S）
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BSV60（抽速20L/S）
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