PL-DW20 立式多层电极板20L真空等离子清洗器
产品详情
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电源系统
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射频电源
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功率
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0~600W
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频率
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13.56MHz
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真空系统
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双级旋片泵（油泵）
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16m3/h
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真空管路
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全不锈钢管路，以及高强度真空波纹管
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材质
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铝合金（可定制不锈钢腔体）
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厚度
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25mm
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密封性
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军工级焊接密封
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腔体内部尺寸
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20升
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可用空间间距
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22.5mm
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电极板布置方式
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水平布置，可活动抽取
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工作托盘
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钢丝网
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气体系统
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流量范围
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0~300SCCM
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工艺气体气路
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标配两路，可定制
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控制系统
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系统控制
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PLC
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交付方式
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7寸触控屏幕
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其它参数
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外形尺寸
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900×1600×900mm（宽×高×深）
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重量
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150KG
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