PT-5ST
腔体材质: 不锈钢表面处理
供电电源: AC220V
工作电流: 整机工作电流不大于1.2A(不含真空泵)
射频电源功率: 0-300W可调(射频匹配一体)
射频频率: 13.56MHz
频率偏移量: 小于0.2KHz
特性阻抗: 50欧姆,自动匹配
真空度: 1pa-30Pa (高真空规实时显示真空度)
气体路数: 双路气体输入(超高精密电子流量计)
气体流量: 10—160ml/min(可调)
过程控制: PLC人机界面自动与手动方式
清洗时间: 1-99999秒钟可调
功率大小 10%-100%可调
内腔尺寸 Φ150×270Lmm 5L
外形尺寸: 560×540×1250mm L×W×H
真空泵: 2XZ-4(抽速4L/S)
真空室温度: 小于30°C
冷却方式: 强制风冷