腔体材质：不锈钢表面处理
供电电源：AC220V
工作电流：整机工作电流不大于1.2A(不含真空泵)
电源功率：0-300/0-600W可调
频率：13.56MHz（偏移量小于0.2KHz）频率偏移量：小于0.2KHz
特性阻抗：50欧姆，自动匹配
真空度：1pa-30Pa
气体路数：双路气体输入
气体流量：浮子流量计0-160ml
过程控制：PLC人机界面自动与手动方式
清洗时间：1-99999秒钟可调
功率大小：10%-100%可调
内腔尺寸：L×W×H 370×320×130mm （15L容量）
外形尺寸：650长x600宽x高750mm（台式）
重量：95Kg
真空泵：飞越泵VRD-16 (抽速4.4L/S)含油雾过滤器或排烟管
真空室温度：小于65°C
冷却方式：强制风冷
负压调节：极限真空调节阀
