PT-5SMT
腔体材质：石英耐热玻璃
供电电源： AC220V
工作电流： 整机工作电流不大于1.2A(不含真空泵)
射频电源功率： 0-200W / 0-300W可调（射频匹配一体）
射频频率： 13.56MHz
频率偏移量： 小于0.2KHz
特性阻抗： 50欧姆，自动匹配
真空度： 1pa-30Pa
气体路数： 双路气体输入（高精密浮子流量计）
气体流量： 10—160ml/min(可调)
过程控制： PLC人机界面自动与手动方式
清洗时间： 1-9999秒钟可调
功率大小 10%-100可调
内腔尺寸 Φ150×270Lmm 5L
外形尺寸： 560×540×550mm L×W×H
真空泵： 飞越真空泵VRD-4 （含油雾过滤器）
真空室温度： 小于30°C
冷却方式： 强制风冷
